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電子級乙二胺四甲叉膦酸EDTMPA

一、性能與用途

電子級EDTMPA為白色結晶性粉末,具有很強的金屬離子螯合能力,在半導體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝,可以提高研磨效率和光潔度,在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺,提高銅箔表面光潔度

二、技術指標

項  目 指  標
外 觀 白色結晶性粉末
活性(以EDTMPA計)/% ≥96.0
單金屬離子/ppb <10ppb(可根據客戶需求定制)

三、包裝與貯存

電子級EDTMPA采用電子級復合塑編袋包裝或符合出口環(huán)保要求的包裝,每袋凈重25kg,可根據客戶需求定制。貯存于室內陰涼處,貯存期十二個月。

四、安全與防護

電子級EDTMPA為酸性固體,操作時注意勞動保護,應避免與皮膚、眼睛等接觸,接觸后應立即用大量清水沖洗。